ZSX Primus 400

РФА с системой индивидуального держателя образца

Обладая гибкостью к адаптации к Вашим специфическим задачам и размеру образцов, данный спектрометр подходит для великого множества размеров и форм образца при использовании опционального (выполняется под заказ) вставного держателя.
Варьируемое измерительное пятно (с диаметром от 30 до 0,5 мм с 5-и ступенчатым автоматическим переходом) и возможность картографирования элементного состава для проверки однородности состава образца, делают ZSX Primus 400 ультра гибким инструментом, способным значительно упростить Ваши процессы контроля качества.

РФА с обозревательной камерой и специальным освещением

Опционально устанавливаемая камера позволяет в режиме реального времени наблюдать за анализируемой областью в окне программного обеспечения. Оператор может быть на 100 % уверен в том, что он измеряет.

Традиционные аналитические возможности ВДРФА

Все привычные для Вас по линейке приборов Primus аналитические возможности сохранились в этой версии «большого образца». Элементный анализ с высоким разрешением от бериллия до урана, высокоточная флуоресцентная спектроскопия любых образцов: твердых, жидких, порошковых и тонких пленок. Анализ элементного состава в широком диапазоне (от нескольких ppm до десятков %) и толщины (от Å до мм). Опционально, доступна функция подавления дифракционных пиков, для оптимальных результатов для монокристаллических подложек. Волнодисперсионный рентгеновский флуоресцентный спектрометр ZSX Primus 400 полностью соответствует промышленным стандартам SEMI и CE.

Главные преимущества:

• Анализ очень массивных образцов диаметром до 400 мм, толщиной до 50 мм и весом до 30 кг;
• Гибкая система держателя образца адаптированная для образцов различных форм и размеров;
• Измеряемое пятно образца может меняться от 30 до 0,5 мм;
• Картографические измерения точечного элементного состава;
• Анализ элементов от бериллия (Be₄) до урана (U₉₂) в широком диапазоне от ppm до десятков процентов;
• Опционально доступно решение для подавления дифракционных отражений для монокристаллических подложек;
• Полная совместимость с промышленными стандартами SEMI и CE;
• Габариты прибора уменьшились на 50 % в сравнении с предыдущей версией;
• Охватывает широкий диапазон областей применения в сфере микро и нано электроники.

Примеры возможных областей применения ZSX Primus 400

• Определение состава распыляемых мишеней;
• Изоляционные пленки: SiO₂, BPSG, PSG, ASSG,Si₃N₄, SiOF, SiON, и т.д.;
• Пьезоэлектрические и Ферро-диэлектрические пленки: PZT, BST, SBT,Ta₂O₅, HfSiO_x;
• Металлические пленки: Al-Cu-Si, W, TiW, Co, TiN, TaN, Ta-Al, Ir, Pt, Ru, Au, Ni и т.д.;
• Электродные пленки: Легированные кремниевые (Легирующие элементы: B, N, O, P, As), аморфные кремниевые, WSix, Pt и т.д.;
• Другие легированные пленки (As, P), с инертным газом (Ne, Ar, Kr, и т.д.), алмазоподобные (DLC) покрытия;
• Ферроэлектрические тонкие пленки: FRAM, MRAM, GMR, TMR, PCM, GST, GeTe;
• Состав столбикового вывода из припоя: SnAg, SnAgCuNi;
• Микро электромеханические системы (MEMS): толщина и состав ZnO, AlN, PZT;
• Процессы ПАВ устройств: толщина и состав AlN, ZnO, SiO₂ (Пьезо пленки); Al, AlCu, AlSc, AlTi (электродные пленки).