XRTmicron от компании Rigaku это высококлассный рентгеновский томограф, анализирующий топографию поверхности в высоком разрешении, предназначенный для формирования изображения дислокаций без необходимости в разрушении образца. Изображения различных типов дислокаций и другие несовершенства структуры монокристаллических пластин (например Si, SiC, Ge, GaAs, кварц, сапфир, рутил, фторид кальция и т.д.) могут быть сформированы в пределах пластин величиной до 300 мм в диаметре. Рентгеновская топография широко распространённый метод анализа дислокаций, как для научных исследований, так и для разработок и процессов контроля качества продукции производителями монокристаллов, пластин и других устройств.

Несравнимая скорость сканирования, на порядок превышающая скорость традиционных систем, достигается за счет объединения высоко-яркого двух-длинноволнового рентгеновского источника – MicroMax-007 DW и рентгеновских оптических зеркал, оптимизированных для топографического применения. Оба рентгеновских источника – Cu и Mo, и их зеркала, одновременно установлены в систему. В зависимости от требований и пользовательских задач, переключение между рентгеновскими источниками для выполнения просвечивающих измерений или измерений на отражение может быть выполнено без каких либо юстировок системы. Цифровое изображение дислокаций захватывается либо CCD камерой высокого разрешения (пиксель 5,4 мкм), либо камерой ультра-высокого разрешения (пиксель 2,4 мкм). Обе камеры могут быть одновременно установлены на систему, и использоваться отдельно в зависимости от требуемого разрешения и качества изображения.